一、超凈工作臺使用一段時間后(初效過濾器3-6個月，過濾器1-2年或更長)，隨著過濾器容塵量的增加，操作區氣流速度逐漸降低，當低于0.3 m/s時， (此時調節電壓也不能達到標準要求或引起振動過大、噪音較大)應取出初效過濾器，更換新的初效過濾器。

　　二、更換初效過濾器后，如氣流速度仍達不到標準，則應更換過濾器。

　　三、更換時，應仔細檢查新的過濾器，看其外部是否被損壞，如有損壞需進行性能檢測，在確定不影響其性能后，方可使用。

　　四、為防止未經過濾器的空氣向操作區泄漏，應在過濾器的出風端面的外框上，粘貼寬15毫米，厚8毫米的乳海棉。

　　五、打開后蓋板，取出舊的過濾器，安裝上新的過濾器，同時應注意：

　�。�1）空氣過濾器框上的箭頭和氣流的方向要一致；

　�。�2）用緊定螺母壓緊時，力求過濾器的四邊框與密封框架壓力均勻，以防止單邊壓緊而造成滲漏；

　�。�3）操作時必須十分小心，嚴防碰撞過濾器濾紙而造成濾紙破損。

　　六、裝好過濾器后，蓋上頂部散流，進行檢查；

　�。�1）滲透檢查：在進風口處點燃芭蘭香，開啟風機。用濁度計或粒子計數器在出風口周邊進行掃描，如發現滲漏，應反復進行調整空氣過濾器的壓緊裝 置，如仍有滲漏，可用密封膠堵漏，直到無滲漏為止。

　�。�2）氣流速度檢查：用熱電風速儀測出各點的風速，符合技術條件即可使用。

　　七、照明及電機電器控制故障時，應打開風機箱的后蓋板查看控制電路或與廠家。